產(chǎn)品中心
性狀：
分子式HF 分子量：20.01。
無色透明溶液，有強烈刺激性氣味，有毒，并有強烈的腐蝕性。
用途：
電子化學品用于超大規(guī)模集成電路芯片，太陽能電池，LED和TFT-LCD面板制造過程的蝕刻和清洗，原子能工業(yè)化學試劑。
產(chǎn)品標準：
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項目 |
指 標 |
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EL級 |
UP級 |
UP-S級 |
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氫氟酸(HF), w/% |
49.0-49.5 |
49.0-49.5 |
49.0-49.5 |
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顆粒(≥ 0.5 μm ) 個/ml ≤ |
25 |
25 |
25 |
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顆粒(≥ 0.3 μm ) 個/ml ≤ |
- |
150 |
150 |
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顆粒(≥ 0.2 μm) 個/ml ≤ |
- |
300 |
300 |
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色度Color, 黑曾≤ |
10 |
10 |
10 |
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硅氟酸, H2SiF6 ppm ≤ |
100 |
20 |
20 |
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氯化物, Cl ppm ≤ |
5 |
5 |
0.5 |
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|
硝酸鹽, NO3 ppm ≤ |
3 |
3 |
0.3 |
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磷酸鹽, PO4 ppm ≤ |
1 |
1 |
0.1 |
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亞硫酸鹽, SO3 ppm ≤ |
5 |
2 |
0.2 |
|
|
硫酸鹽, SO4 ppm≤ |
0.5 |
0.2 |
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金
屬
離
子
ppb ≤ |
鋅( Zn ) |
50 |
10 |
10 |
|
鈉( Na ) |
200 |
10 |
1 |
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鎂( Mg ) |
200 |
10 |
1 |
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鉑( Pt ) 、鉀( K )、鈦( Ti)、 鋁( Al ) 、鉬( Mo ) 、鋇( Ba ) 鈣( Ca )、鐵( Fe ) |
100 |
10 |
1 |
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鉛( Pb ) 、砷( As ) 、鎘( Cd ) 鎳( Ni ) |
50 |
10 |
1 |
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錫( Sn ) 、錳( Mn ) 、鉻( Cr ) 鈷( Co )、銅( Cu ) 、鎵( Ga ) 鍺( Ge ) |
20 |
10 |
1 |
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金( Au ) 、鈹( Be ) 、鉍( Bi ) 鋰( Li ) 、銀( Ag ) |
20 |
5 |
1 |
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鍶( Sr ) 、鉈( Tl ) 銻( Sb ) 、礬( V ) |
- |
10 |
1 |
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